SMF10系列热式质量流量计/质量流量控制器

技术参数

产品型号：SMF 10质量流量计 SMF 10质量流量控制器

量程范围：5SCCM-6000SLPM

量程比 50:1

精度±1%FS

线性度±0.5%F.S

重复性±0.2%F.S

温度系数±0.025%F.S/℃

响应时间<1s

操作温度0~50℃

操作压力3MPa（可选10MPa）

工作压差：0.1~0.5MPa（取决于流量大小）；<0.01MPa（取决于流量大小）

泄漏率：1×10-9Pa.m3/sec(He)

供电电源：±15VDC,24VDC

模拟信号：0~5V,4~20mA,1~5V

数字信号：RS232,RS485,Modbus-RTU协议，Profibus协议

密封材质：Viton, Neoprene，Buna-N,FFKM等

主体材质：316不锈钢

阀门状态：无 常闭

电气接口：DB9孔，RJ11

气路连接尺寸：标准G3/8内螺纹，可选配其他卡套接头

预热时间：5min最佳

显示屏：可选